1

Tên nhiệm vụ: Nghiên cứu chế tạo cảm biến dây nano ôxít kim loại bán dẫn bằng phương pháp mọc trực tiếp (on-chip) và ảnh hưởng của chiếu sáng UV đến tính chất nhạy khí

2

3

4

Mã số nhiệm vụ (nếu có):

5

Tên tổ chức chủ trì: Trường Đại học Bách Khoa Hà Nội

6

Cơ quan chủ quản: Bộ Giáo dục và Đào tạo

7

Chủ nhiệm nhiệm vụ:

8

Danh sách cá nhân tham gia nhiệm vụ:

9

Mục tiêu nghiên cứu:

10

Tóm tắt nội dung nghiên cứu chính: Phát triển công nghệ chế tạo cảm biến dây nano ôxít bằng phương pháp mọc trực tiếp dây nano ôxít lên các chip điện cực (gọi là mọc on-chip) và có được các hiểu biết sâu sắc về ảnh hưởng của việc chiếu sáng UV đến tính chất nhạy khí của một số loại cảm biến trên cơ sở dây nano ôxít mọc on-chip, dây nano biến tính hoặc pha tạp, và cảm biến sử dụng hiệu ứng tự đốt nóng. Các loại cảm biến chế tạo được trong đề tài đảm bảo có độ nhạy cao, độ chọn lọc tốt và làm việc ở nhiệt độ thấp thậm chí ở nhiệt độ phòng dưới tác dụng của ánh sáng UV. Công nghệ vi điện tử truyền thống và phương pháp bốc bay nhiệt cho việc mọc dây nano theo cơ chế VLS là những phương pháp chính sẽ được sử dụng để chế tạo cảm biến dây nano ôxít. Hệ đo cảm biến khí đã chế tạo sẽ được tích hợp với nguồn sáng UV là thiết bị chính sẽ được sử dụng để nghiên cứu tính chất nhạy khí của cảm biến. Ngoài ra, các phương pháp khảo sát vật liệu truyền thống như SEM, TEM, XRD, Raman, PL cũng sẽ được sử dụng thực hiện đề tài này.

11

Lĩnh vực nghiên cứu: Vật lý

12

Mục tiêu kinh tế xã hội của nhiệm vụ:

13

Phương pháp nghiên cứu:

14

Sản phẩm khoa học và công nghệ dự kiến:

15

Địa chỉ và quy mô ứng dụng dự kiến:

16

Thời gian thực hiện: 24 tháng (từ đến )

17

Kinh phí được phê duyệt: 1350000000 triệu đồng
trong đó:

18

Quyết định phê duyệt: số ngày 01 tháng Tháng 1 năm 1970

19

Hợp đồng thực hiện: số ngày 01 tháng Tháng 1 năm 1970