1

Tên nhiệm vụ: Nghiên cứu mô phỏng, thiết kế và chế tạo linh kiện cảm biến thermopile bằng công nghệ MEMS hướng đến ứng dụng trong bộ đo lưu lượng khí

2

3

4

Mã số nhiệm vụ (nếu có):

5

Tên tổ chức chủ trì: Trung tâm Nghiên cứu triển khai Khu Công nghệ cao

6

Cơ quan chủ quản: UBND TP. Hồ Chí Minh

7

Chủ nhiệm nhiệm vụ: ThS.Nguyễn Tuấn Anh

8

Danh sách cá nhân tham gia nhiệm vụ: Nguyễn Thị Hồng Trang; Trịnh Xuân Thắng; Trương Hữu Lý; Nguyễn Tuấn Anh; Trần Duy Hoài; Nguyễn Thanh Phương; Huỳnh Trọng Phát; Đặng Quốc Tuấn; Đào Minh Tuấn; Phạm Võ Phương Uyên

9

Mục tiêu nghiên cứu:

Đề tài được thực hiện nhằm mục tiêu nghiên cứu chế tạo cảm biến thermopile bằng công nghệ MEMS nhằm hướng đến ứng dụng trong bộ đo lưu lượng khí.

10

Tóm tắt nội dung nghiên cứu chính:

Đề tài thực hiện việc mô phỏng cấu trúc, khảo sát và tối ưu thiết kế cảm biến thermopile, nghiên cứu thiết kế linh kiện cảm biến thermopile bằng công nghệ MEMS, nghiên cứu và khảo sát quy trình chế tạo cảm biến thermopile, chế tạo cảm biến thermopile bằng công nghệ MEMS, thực nghiệm và đánh giá kết quả cảm biến thermopile, nghiên cứu hướng đến ứng dụng đo lưu lượng dòng khí của linh kiện cảm biến thermopile.

11

Lĩnh vực nghiên cứu: Cơ điện tử; hệ vi cơ điện tử (MEMS),..

12

Mục tiêu kinh tế xã hội của nhiệm vụ:

1310- Công nghiệp điện tử và công nghiệp liên quan đến điện tử

13

Phương pháp nghiên cứu:

14

Sản phẩm khoa học và công nghệ dự kiến:

Sản phẩm khoa học và công nghệ dự kiến sau khi nghiên cứu kết thúc bao gồm: Bộ Mặt nạ quang; Cảm biến Thermopile; Cảm biến nhiệt điện TP đo lưu lượng khí; Quy trình chế tạo linh kiện cảm biến thermopile bằng công nghệ MEMS; Báo cáo tổng hợp, báo cáo tóm tắt; Bài báo khoa học trong nước; Đăng ký 01 Sáng chế

15

Địa chỉ và quy mô ứng dụng dự kiến:

16

Thời gian thực hiện: 0 tháng (từ 12/2024 đến 12/2025)

17

Kinh phí được phê duyệt: 1.500 triệu đồng
trong đó:

18

Quyết định phê duyệt: số ngày 01 tháng Tháng 1 năm 1970

19

Hợp đồng thực hiện: số ngày 01 tháng Tháng 1 năm 1970