Phát triển chương trình mô phỏng 3D Monte Carlo để nghiên cứu dòng điện cảm ứng chùm điện tử (Electron Beam Induced Current- EBIC) thu nhận bởi nano-contact trên một cấu trúc có bề mặt chứa các hạt nanô tinh thể. Chúng tôi sẽ nghiên cứu sự ảnh hưởng của mật độ, cũng như kích thước của hạt nanô tinh thể lên dòng điện cảm ứng chùm điện tử thu nhận bởi nano-contact, từ dòng điện cảm ứng chùm điện tử thu được chúng tôi sẽ xác định được độ dài khuếch tán của hạt mang điện thiểu số trên bề mặt theo mật độ và kích thước hạt nanô tinh thể. Bên cạnh đó nghiên cứu sự ảnh hưởng của mức năng lượng ban đầu của chùm điện tử đến độ dài khuếch tán của hạt mang điện thiểu số với các mật độ và kích thước của hạt nanô tinh thể khác nhau. Từ những kết quả thu được bằng mô phỏng trong đề tài này kết hợp với những kết quả mà tác giả đã đạt được bằng thực nghiệm có được một cái nhìn tổng quan về độ dài khuếch tán trên bề mặt của hạt mang điện tối thiểu và về tốc độ tái tổ hợp trên bề mặt của cấu trúc chứa hạt nanô tinh thể.