• Kết quả thực hiện nhiệm vụ

2001-561

2001-60-198

Nghiên cứu chế tạo thiết bị phún xạ cathode DC magnetron và ứng dụng trong chế tạo màng mỏng

Trung tâm vật liệu quang điện tử

Bộ Khoa học và Công nghệ

Bộ

Phạm Hồng Tuấn, ThS

Kỹ thuật vật liệu và luyện kim

1999

2000

2000

H.

106 tr.+PL

Đã thiết kế và chế tạo thành công thiết bị phún xạ DC-magnetron, áp dụng chúng để chế tạo gương quang học chất lượng cao trên cơ sở màng Al và Ag và chế tạo lớp phủ trên cơ sở màng Cu và Cu/Cr trên đế plastic, thay thế cho các chi tiết của Quân chủng phòng không không quân

Thiết bị phún xạ DC-magnetron; Chế tạo màng mỏng; Gương quang học; Mạ bạc; Màng kim loại

24 Lý Thường Kiệt, Hà Nội

3962