Các nhiệm vụ khác
liên kết website
Lượt truy cập
 Lượt truy cập :  13079543
  • Kết quả thực hiện nhiệm vụ

Nghiên cứu hoàn thiện công nghệ MEMS trong việc chế tạo linh kiện cảm biến áp suất ứng dụng xây dựng các module đo mực nước

Trung tâm nghiên cứu triển khai khu công nghệ cao

UBND TP. Hồ Chí Minh

Tỉnh/ Thành phố

TS. Trịnh Xuân Thắng

ThS. Nguyễn Tuấn Khoa; TS. Phan Anh Tuấn; ThS. Trương Hữu Lý; KS. Vũ Lê Thành Long; ThS. Hoàng Công Đức; ThS. Nguyễn Việt Hưng; CN. Huỳnh Trọng Phát; KS. Trần Duy Hoài; KS. Nguyễn Tuấn Anh

Kỹ thuật thuỷ lợi

01/11/2017

01/08/2018

2018

TP. Hồ Chí Minh

164 tr. + Phụ lục

Hoàn thiện công nghệ chế tạo cảm biến áp suất dạng áp trở và ứng dụng cảm biến áp suất trong hệ thống quan trắc tình trạng ngập lụt tại Tp. Hồ Chí Minh. Các cấu trúc cảm biến áp suất dải đo 0-50 kPa được thiết kế và tối ưu hóa nhằm đạt được độ nhạy cao, độ tuyến tính tốt và hoạt động ổn định. Sau khi tối ưu hóa các điều kiện công nghệ chế tạo, 100 cảm biến với dải đo 0-50 kPa; nhiệt độ hoạt động từ 10-50 ᴼC; diaphragm 15 μm, kích thước chip 2.6 mm × 2.6 mm đã được chế tạo và đóng gói thành công. Các cảm biến này được đo đạc các đặc tuyến phụ thuộc điện áp ra theo áp suất và khảo sát sự phụ thuộc nhiệt độ của các đặc tuyến này. Sau khi được chế tạo và khảo sát, các cảm biến áp suất này lắp ráp thiết bị cảnh báo ngập WLM-0717. Bên cạnh đó, khảo sát địa hình các vị trí lắp đặt trạm cảnh báo ngập tại các quận trên địa bàn Tp. Hồ Chí Minh và dẫn cao độ quốc gia về các vị trí lắp đặt.

Công nghệ MEMS; Module đo mực nước; Cảm biến; Áp suất; Ngập lụt; Quan trắc

HCM-0354-2018