Các nhiệm vụ khác
liên kết website
Lượt truy cập
 Lượt truy cập :  13079543
  • Kết quả thực hiện nhiệm vụ

Phát triển mô hình động học chi tiết cho sự hình thành tấm phim silicon mỏng

PTN Khoa học phần tử và vật liệu Nano

UBND TP. Hồ Chí Minh

Tỉnh/ Thành phố

PGS. TS. Huỳnh Kim Lân

ThS. Lê Nguyễn Minh Thông; ThS. Lê Thanh Xuân; ThS. Nguyễn Thanh Hiếu; CN. Huỳnh Chơn Thiện

Các vật liệu nano (sản xuất và các tính chất)

2018

TP. Hồ Chí Minh

38 tr. + phụ lục

Xây dựng cơ chế chi tiết cho sự hình thành màng silicon và tính toán hằng số tốc độ phản ứng cho các kênh phản ứng quan trọng. Kiểm tra lại một số một kết quả của những công trình trước đó về sự hấp phụ và phản ứng của các gốc tự do trên bề mặt silicon. Dựa trên những tính toán mở rộng của chúng tôi, những phân tử hấp phụ có khả năng đóng góp vào cơ chế hình thành màng sẽ được đề xuất. 

Vật liệu; Phim silicon mỏng; Động học; Chi tiết

24 Lý Thường Kiệt

HCM-0114-2018