Thông tin nhà nghiên cứu KH&CN

Thiết kế và chế tạo các bộ vi chấp hành dựa trên công nghệ vi cơ điện tử MEMS

Một phương pháp tính toán các đại lượng quy đổi trong phương trình chuyển động của bộ vi kích hoạt điện nhiệt kiểu V-shaped

Influence of Shape Factor of a Beam Cross-Section on a Heat Transfer Process of the Electrothermal V-Shaped Micro Actuators

Influence of the driving frequency and equivalent parameters on displacement amplitude of electrostatic linear comb actuator

STABLE WORKING CONDITION AND CRITICAL DRIVING VOLTAGE OF THE ELECTROTHERMAL V-SHAPED ACTUATOR

Heat transfer model and critical driving frequency of electrothermal V-shaped actuators

Improving Displacement of Silicon V-shaped Electrothermal Microactuator Using Platinum Sputter Deposition Process

Safe working condition and optimal dimension of the electrothermal V-shaped actuator

Larger displacement of silicon electrothermal V-shaped actuator using surface sputtering process

Impact of design parameters on working stability of the electrothermal V-shaped actuator

Trapezoidal-shaped Electrostatic Comb-drive Actuator with Large Displacement and High Driving Force Density

Khảo sát đặc trưng dao động của mô hình gyroscope với khung dẫn và gia khối cảm ứng

Influence of the Driving Frequency on Electrostatic Linear Comb Actuator Displacement Amplitude

Vi chấp hành tĩnh điện kiểu răng lược và các ứng dụng

Nghiên cứu ảnh hưởng của các thông số hình/động lực học tới hoạt động của vi kích hoạt và vi mô tơ MEMS