liên kết website
Lượt truy cập
 Lượt truy cập :  13079543
  • Kết quả thực hiện nhiệm vụ

2012-60-473

Nghiên cứu công nghệ phún xạ xung chế tạo màng mỏng quang học chất lượng cao

Ttâm Quang điện tử

Bộ Khoa học và Công nghệ

Bộ

Nguyễn Thành Hợp, ThS

Phạm Hồng Tuấn, TS; Nguyễn Tuấn Vũ, KS; Võ Thế Ngọc, KS; và những người khác

Khoa học kỹ thuật và công nghệ

2010

2012

2012

Hà Nội

109 tr.

Giới thiệu kết quả nghiên cứu và chế tạo 02 đầu phún xạ cho bia titan và silic; Xây dựng 01 hệ thiết bị để chế tạo các màng mỏng điện môi bằng công nghệ xung; Nghiên cứu chế tạo hai loại vật liệu màng TiO2/SiO2 bằng phún xạ xung; Chế tạo lớp mạ bán phản xạ SR và giảm phản xạ AR trên linh kiện quang sử dụng TiO2/SiO2

Phún xạ; Màng mỏng quang học; Linh kiện quang học

24 Lý Thường Kiệt, Hà Nội

9453