liên kết website
Lượt truy cập
 Lượt truy cập :  13079543
  • Kết quả thực hiện nhiệm vụ

103.02.2010.23

Nghiên cứu phát triển hệ vi cảm biến chuyển động dựa trên công nghệ vi cơ điện tử - MEMS

Trường Đại học Bách Khoa Hà Nội

Bộ Giáo dục và Đào tạo

Quốc gia

PGS.TS. Vũ Ngọc Hùng

TS. Chu Mạnh Hoàng, ThS. Ngô Đức Quân, ThS. Nguyễn Quang Long, ThS. Đặng Bảo Trâm, Hoàng Quốc Khanh

Cơ điện tử; hệ vi cơ điện tử (MEMS),..

12/2010

12/2013

2014

Hà Nội

8 + Phụ lục

Thiết kế cấu tạo và nguyên lý hoạt động của hệ vi cảm biến quán tính tích hợp bao gồm cảm biến gia tốc 2 bậc tự do kiểu tụ và cảm biến vận tốc góc kiểu tuning-forrk. Tính toán mô phỏng hệ vi cảm biến quán tính tích hợp, Chế tạo và khảo sát các đặc trưng của hệ vi cảm biến quán tính tích hợp.

Nghiên cứu; Phát triển; Vi cảm biến; Chuyển động; Công nghệ; Vi cơ điện tử

24 Lý Thường Kiệt, Hà Nội

10656