Phát triển công nghệ chế tạo cảm biến dây nano ôxít bằng phương pháp mọc trực tiếp dây nano ôxít lên các chip điện cực (gọi là mọc on-chip) và có được các hiểu biết sâu sắc về ảnh hưởng của việc chiếu sáng UV đến tính chất nhạy khí của một số loại cảm biến trên cơ sở dây nano ôxít mọc on-chip, dây nano biến tính hoặc pha tạp, và cảm biến sử dụng hiệu ứng tự đốt nóng. Các loại cảm biến chế tạo được trong đề tài đảm bảo có độ nhạy cao, độ chọn lọc tốt và làm việc ở nhiệt độ thấp thậm chí ở nhiệt độ phòng dưới tác dụng của ánh sáng UV. Công nghệ vi điện tử truyền thống và phương pháp bốc bay nhiệt cho việc mọc dây nano theo cơ chế VLS là những phương pháp chính sẽ được sử dụng để chế tạo cảm biến dây nano ôxít. Hệ đo cảm biến khí đã chế tạo sẽ được tích hợp với nguồn sáng UV là thiết bị chính sẽ được sử dụng để nghiên cứu tính chất nhạy khí của cảm biến. Ngoài ra, các phương pháp khảo sát vật liệu truyền thống như SEM, TEM, XRD, Raman, PL cũng sẽ được sử dụng thực hiện đề tài này.