• Kết quả thực hiện nhiệm vụ

93-0778KQ

Chế tạo màng epitaxy silic trên đế silic từ pha hơi

Nhà máy Z181

Bộ Quốc phòng

Quốc gia

Nguyễn Quang Huân, KS

Kỹ thuật điện và điện tử

1981

1985

1986

H.

9 tr.

Màng epitaxy silic; Công nghệ epitaxy; Linh kiện bán dẫn; Công nghệ bán dẫn

24 Lý Thường Kiệt, Hà Nội

516