Các nhiệm vụ khác
liên kết website
Lượt truy cập
 Lượt truy cập :  13079543
  • Kết quả thực hiện nhiệm vụ

103.02-2019.36

2023-52-1088/NS-KQNC

Điều khiển sự định hướng tinh thể của màng mỏng poly-Si bằng phương pháp tinh thể hóa sử dụng laser mục đích nâng cao tính đồng nhất của transistor hiệu suất siêu cao

Trường Đại học sư phạm Hà Nội

Bộ Giáo dục và Đào tạo

Quốc gia

TS. Nguyễn Thị Thúy

PGS.TS. Trần Mạnh Cường, TS. Nguyễn Đình Lãm, PGS.TS. Lục Huy Hoàng, ThS. Vương Văn Cường

Màng mỏng, vật liệu sơn, vật liệu phủ

01/09/2019

01/09/2023

2023

Hà Nội

60 tr. + phụ lục

Chế tạo thành công màng mỏng poly-Si trên đế thủy tinh trong suốt sử dụng laser với các hạt tinh thể kích thước lớn, có các tính chất tinh thể đồng nhất trên miền rộng. Điều khiển được sự định hướng tinh thể của màng mỏng poly-Si sử dụng laser. Khảo sát được ảnh hưởng của các điều kiện tinh thể hóa lên tính chất tinh thể của màng mỏng poly-Si. Điều khiển được các khuyết tật trong màng mỏng tinh thể poly-Si. Chế tạo thành công các transistor hiệu suất cao trên màng mỏng tinh thể poly-Si có định hướng (100) và nâng cao được tính chất đồng nhất về hiệu suất của các transistor với sai số trung bình không vượt quá 20%. 

Màng mỏng poly-Si; Thủy tinh trong suốt; Laser; Tinh thể; Transistor; Hiệu suất siêu cao

24 Lý Thường Kiệt, Hà Nội

22738