BỘ KHOA HỌC VÀ CÔNG NGHỆ
HỆ THỐNG THÔNG TIN KHOA HỌC VÀ CÔNG NGHỆ

Các nhiệm vụ khác
liên kết website
Lượt truy cập
 Lượt truy cập :  16,921,611
  • Kết quả thực hiện nhiệm vụ

103.99-2014.34

2017-53-1253

Nghiên cứu thiết kế chế tạo con quay vi cơ kiểu âm thoa hệ số phẩm chất Q cao cho hoạt động trong môi trường không khí

Trường Đại học Bách Khoa Hà Nội

Bộ Giáo dục và Đào tạo

Quốc gia

PGS.TS. Vũ Ngọc Hùng

TS. Chu Mạnh Hoàng, ThS. Nguyễn Ngọc Minh, ThS. Nguyễn Quang Long, ThS. Đặng Quang Hiếu, KS. Hà Sinh Nhật;

Vật lý các chất cô đặc

03/2015

03/2017

2017

Hà Nội

50 tr.

Thiết kế con quay vi cơ kiểu âm thoa: Thiết kế cấu trúc khối kích thích bao gồm khối gia trọng, các dầm treo và hệ thống điện cực răng lược; Thiết kế cấu trúc khối cảm ứng gồm khung cứng có gắn các điện cực răng lược; Thiết kế hệ dầm treo ghép cặp để kết nối các khối gia trọng của con quay vi cơ. Mô phỏng con quay vi cơ kiểu âm thoa: Mô phỏng phân tích các mode dao động của linh kiện bằng phương pháp phần tử hữu hạn để xác định các tính chất dao động (tần số cộng hưởng, thứ tự các mode dao động, sự phù hợp về tần số giữa hai mode hoạt động: kích thích và cảm ứng và hệ số phẩm chất Q); Mô phỏng phân tích chuyển vị để xác định sự phụ thuộc của chuyển vị mode cảm ứng vào vận tốc góc đặt vào và từ đó đánh giá độ nhạy và độ phân giải của linh kiện; Đánh giá ảnh hưởng của áp suất không khí và nhiệt độ tới hệ số phẩm chất của linh kiện; Tối ưu hóa thiết kế cấu trúc của linh kiện. Chế tạo con quay vi cơ kiểu âm thoa: Thiết kế và chế tạo bộ mặt nạ quang học dùng cho quá trình quang khắc tạo cấu trúc linh kiện gồm các mặt nạ tạo cấu trúc, mặt nạ ăn mòn đế và mặt nạ tạo điện cực; Chế tạo linh kiện dựa trên công nghệ vi cơ khối sử dụng các công nghệ quang khắc, ăn mòn khô sâu ion hoạt hóa, ăn mòn ướt bằng hơi HF và cắt phiến tạo chip. Khảo sát tính chất điện của con quay vi cơ kiểu âm thoa: Khảo sát đáp ứng tần số của các mode kích thích và cảm ứng của linh kiện; Khảo sát sự kết cặp giữa hai mode kích thích và cảm ứng; Khảo sát đặc trưng nhạy vận tốc góc của linh kiện; - Đo và đánh giá phổ tín hiệu nhiễu; Phân tích đánh giá hệ số phẩm chất, độ.

Con quay vi cơ; Vật lý bán dẫn; Vi cơ điện tử

24 Lý Thường Kiệt, Hà Nội

14443