Nghiên cứu thiết kế chế tạo con quay vi cơ kiểu âm thoa hệ số phẩm chất Q cao cho hoạt động trong môi trường không khí

Các nhiệm vụ khác

Tổng kết và xây dựng mô hình phát triển KT-XH nông thôn mới kết hợp truyền thống làng xã Việt Nam với văn minh thời đại-Kết quả điều tra khảo sát ở Công ty Cao su Đaklak tỉnh Đaklak
Nâng cao vai trò của cấp ủy Đảng trong tiếp công dân giải quyết khiếu nại tố cáo
Nghiên cứu cơ chế tăng cường mật độ dòng tới hạn trên hệ siêu dẫn nhiệt độ cao BSCCO và YBCO nhằm ứng dụng trong truyền tải điện
Tổng hợp các vật liệu quang xúc tác dạng sơ đồ Z trên cơ sở các vật liệu tổ hợp vô cơ/graphitic carbon nitride cho ứng dụng xử lý khí nitơ oxit
Nghiên cứu ứng dụng công nghệ định vị-thông tin-truyền thông (GPS-ICT) để xây dựng hệ thống quản lý tập trung tàu cá hoạt động trên vùng biển Thái Bình
Lưu giữ và bảo quản nguồn gen cây nguyên liệu dầu và cây tinh dầu
Cơ sở khoa học của việc nghiên cứu biên soạn lịch sử cơ quan công tác dân tộc ở nước ta-Các chuyên để nghiên cứu
Hiện trạng và nhu cầu đào tạo nhân lực có trình độ từ trung cấp trở lên ở tỉnh Cần Thơ đến năm 2010
Phương pháp kiểu Extragradient cho bài toán bất đẳng thức biến phân và bài toán cân bằng
Nghiên cứu và biên soạn giáo trình chính thức Tình hình và nhiệm vụ của tỉnh Thái Nguyên

liên kết website

Lượt truy cập

Lượt truy cập : 14,773,598

Kết quả thực hiện nhiệm vụ

MS đề tài

103.99-2014.34

Số đăng ký KQ

2017-53-1253

Tên nhiệm vụ

Nghiên cứu thiết kế chế tạo con quay vi cơ kiểu âm thoa hệ số phẩm chất Q cao cho hoạt động trong môi trường không khí

Tổ chức chủ trì

Trường Đại học Bách Khoa Hà Nội

Cơ quan chủ quản

Bộ Giáo dục và Đào tạo

Cấp quản lý nhiệm vụ

Quốc gia

Thuộc chương trình

Chủ nhiệm nhiệm vụ

PGS.TS. Vũ Ngọc Hùng

Cán bộ phối hợp

TS. Chu Mạnh Hoàng, ThS. Nguyễn Ngọc Minh, ThS. Nguyễn Quang Long, ThS. Đặng Quang Hiếu, KS. Hà Sinh Nhật;

Lĩnh vực nghiên cứu

Vật lý các chất cô đặc

Thời gian bắt đầu

03/2015

Thời gian kết thúc

03/2017

Năm viết báo cáo

2017

Nơi viết báo cáo

Hà Nội

0 (triệu đồng)

Số trang

50 tr.

Tóm tắt

Thiết kế con quay vi cơ kiểu âm thoa: Thiết kế cấu trúc khối kích thích bao gồm khối gia trọng, các dầm treo và hệ thống điện cực răng lược; Thiết kế cấu trúc khối cảm ứng gồm khung cứng có gắn các điện cực răng lược; Thiết kế hệ dầm treo ghép cặp để kết nối các khối gia trọng của con quay vi cơ. Mô phỏng con quay vi cơ kiểu âm thoa: Mô phỏng phân tích các mode dao động của linh kiện bằng phương pháp phần tử hữu hạn để xác định các tính chất dao động (tần số cộng hưởng, thứ tự các mode dao động, sự phù hợp về tần số giữa hai mode hoạt động: kích thích và cảm ứng và hệ số phẩm chất Q); Mô phỏng phân tích chuyển vị để xác định sự phụ thuộc của chuyển vị mode cảm ứng vào vận tốc góc đặt vào và từ đó đánh giá độ nhạy và độ phân giải của linh kiện; Đánh giá ảnh hưởng của áp suất không khí và nhiệt độ tới hệ số phẩm chất của linh kiện; Tối ưu hóa thiết kế cấu trúc của linh kiện. Chế tạo con quay vi cơ kiểu âm thoa: Thiết kế và chế tạo bộ mặt nạ quang học dùng cho quá trình quang khắc tạo cấu trúc linh kiện gồm các mặt nạ tạo cấu trúc, mặt nạ ăn mòn đế và mặt nạ tạo điện cực; Chế tạo linh kiện dựa trên công nghệ vi cơ khối sử dụng các công nghệ quang khắc, ăn mòn khô sâu ion hoạt hóa, ăn mòn ướt bằng hơi HF và cắt phiến tạo chip. Khảo sát tính chất điện của con quay vi cơ kiểu âm thoa: Khảo sát đáp ứng tần số của các mode kích thích và cảm ứng của linh kiện; Khảo sát sự kết cặp giữa hai mode kích thích và cảm ứng; Khảo sát đặc trưng nhạy vận tốc góc của linh kiện; - Đo và đánh giá phổ tín hiệu nhiễu; Phân tích đánh giá hệ số phẩm chất, độ.

Từ khoá

Con quay vi cơ; Vật lý bán dẫn; Vi cơ điện tử

Nơi lưu trữ

24 Lý Thường Kiệt, Hà Nội

Ký hiệu kho

14443