BỘ KHOA HỌC VÀ CÔNG NGHỆ
HỆ THỐNG THÔNG TIN KHOA HỌC VÀ CÔNG NGHỆ

Các nhiệm vụ khác
liên kết website
Lượt truy cập
 Lượt truy cập :  18,402,264
  • Ứng dụng kết quả thực hiện nhiệm vụ

103.03-2017.335

2021-48-1936/KQNC

Linh kiện quang tử SOI trên cơ sở kết hợp buồng cộng hưởng và kênh dẫn sóng dạng khe hẹp trong tinh thể quang tử 2D ứng dụng cho cảm biến chất lỏng độ nhạy cao

Viện Khoa Học Vật Liệu

Viện Hàn lâm Khoa học và Công nghệ Việt Nam

Quốc gia

TS. Hoàng Thị Hồng Cẩm

PGS.TS. Phạm Văn Hội, TS. Nguyễn Thuý Vân, ThS. Phạm Thanh Bình, ThS. Phạm Văn Đại

Kỹ thuật điện và điện tử

08/2018

08/2021

16/12/2021

2021-48-1936/KQNC

30/12/2021

Đề tài nghiên cứu cách kích thích mode định xứ của hốc cộng hưởng tinh thể quang tử từ dẫn sóng tinh thể quang tử có khe hẹp theo cấu hình tương tác bên với định hướng ứng dụng cảm biến chất lỏng độ nhạy cao. Đề tài đã chế tạo được hệ ghép cặp hốc cộng hưởng tinh thể quang tử - dẫn sóng tinh thể quang tử có khe hẹp bằng phương pháp quang khắc tia cực tím sâu (DUV). Cấu trúc hốc cộng hưởng tinh thể quang tử có khe hẹp chế tạo được có hệ số phẩm chất cỡ 20000, thể tích mode là 0.023(/n)3 và bước sóng cộng hưởng có giá trị khoảng 1.34um. Trong đó tín hiệu được đưa từ nguồn laser liên tục vào cấu trúc bằng ghép cặp cách tử. Kết quả này của đề tài có tính mới và ưu việt so với các kết quả hiện tại vì hầu hết các kết quả chế tạo cấu trúc hốc cộng hưởng tinh thể quang tử đều sử dụng phương pháp khắc chùm điện tử (EBL), phương pháp này có quy mô ở cấp độ phòng thí nghiệm. Với việc sử dụng phương pháp quang khắc tia cực tím ở công ty Điện tử ST Microelectronics (Thuỵ Sĩ), kết quả đề tài cho thấy tiềm năng chế tạo cấu trúc này ở quy mô công nghiệp. Cấu trúc hốc cộng hưởng tinh thể quang tử này sẽ được ứng dụng trong lĩnh vực quang tử. Việc chuyển giao công nghệ để sản xuất các linh kiện này sẽ được thực hiện trong tương lai gần
20197

Linh kiện; Quang tử SOI; Cơ sở kết hợp; Buồng cộng hưởng; Kênh dẫn sóng; Tinh thể quang tử 2D; Ứng dụng; Cảm biến chất lỏng; Độ nhạy cao

Ứng dụng

Đề tài KH&CN

Khoa học kỹ thuật và công nghệ,

Số lượng công bố trong nước: 0

Số lượng công bố quốc tế: 0

Không

Không